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TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀

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所屬分類:3D光學表面輪廓粗糙度儀
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瑞士 TRIMOS TR-scan非(fei)接(jie)觸式(shi)微觀形貌測量(liang)儀(yi) ,全(quan)自動(dong)共焦三維測量(liang)。具有完善(shan)的分析功能模塊,對其表(biao)面(mian)形貌進(jin)行輪廓(kuo)、面(mian)積(ji)、體(ti)積(ji)、粗糙度、截面(mian)等測量(liang)。

TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀的詳細資料:



TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀

Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀,全自動共焦三維測量。于刀具制造工業,根據多點譜線共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自動聚焦,快速獲得刀具表面三維形貌,采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統,可以對各種復雜的刀刃及其模具進行準確的測量,具有完善的分析功能模塊,對其表面形貌進行輪廓、面積、體積、粗(cu)糙度、截面(mian)等測量(liang)。

 

TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主要特(te)點:

  • 強大的多點共焦(jiao)技(ji)術,zui準確的測量出表面形貌數(shu)據(角度、半徑、輪(lun)廓、粗糙(cao)度)

  • 通過(guo)光(guang)學方式測(ce)量Ra、Rq、Rz等(deng)粗糙度參數

  • 測(ce)量(liang)速度快,可整合(he)成一個高效的在(zai)線測(ce)量(liang)系(xi)統

  • 適用(yong)于陡峭的(de)斜面,爬坡角度高達85度

  • 垂直分(fen)辨(bian)率(lv)高達30nm

  • TRSCAN是*可同時獲得(de)表面(mian)形貌和真實顏色(se)信息(xi)的(de)3D測量設備,測量更加精(jing)確靈(ling)活(huo)

  • 通過腳本(ben)自動測量,更(geng)適用于批量測量,并(bing)生(sheng)成圖形或數字報(bao)告(gao)

  • 粗糙度和輪廓測量(liang)符合*EN/ISO4287標準

  • 可用(yong)于選(xuan)定區域的面積及體積計(ji)算

  • 可選配(pei)轉臺,實現三維掃面

  • 可用于復雜幾(ji)何(he)外形的(de)形狀分析,可測(ce)量角度、半(ban)徑等(deng)表面特征

技術參數:

 

 工作臺移動范圍(wei)X 100mm
 工作臺移動(dong)范圍Y 固(gu)定(ding)式
 工(gong)作臺移動范圍(wei)Z 240mm
 XYZ軸zui小位移量0.1μm 
 XYZ軸定(ding)位精度 1μm
 XY軸導(dao)軌直線(xian)度 1.5μm
 工件zui大重量20kg 
 測量原理(li)非接觸(chu)式多點(dian)譜線(xian)共(gong)焦傳(chuan)感器(qi) 
 光源(yuan) 白色LED共(gong)軸(zhou)光,高(gao)強光,數字可(ke)控(kong)
 色譜(pu)共焦(jiao)傳感器(qi) CLS0.2 CLS1 CLS4
 線寬 0.96mm 1.92mm 4.8mm
 工(gong)作(zuo)距(ju)離 5.3mm18.2mm 39mm 
 光斑間隙5μm10μm 25μm 
 光(guang)斑大小 2μm4μm 10μm 
 爬坡坡度 ±44deg  ±33deg  ±20deg
 測量范(fan)圍 200μm950μm 4mm 
 軸向分辨率30nm 120nm 500nm 
 精度 90nm360nm 1.5μm 
 厚度zui小分辨率15μm 70μm 300μm 
 測(ce)量zui大厚度300μm 1.5mm 6mm 


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